一、干式液氮溫區(qū)探針臺(tái)
產(chǎn)品特征如下：
1.真空腔體：真空度優(yōu)千6X 10-4Pa。降溫后優(yōu)千6X10-5Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口(KF40可接入氣體或者額外的電纜）
2.探針控制：標(biāo)配6個(gè)探針臂。調(diào)節(jié)范圍110mm*50mm*30mm, 調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個(gè)探針臂配 備一根Tri ax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺(tái)底座配備額外一根Tri ax三同軸低漏電線纜；
3.顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡， 光學(xué)放大倍率：0 .5X~3. 75X （使用0. 75X附加物鏡時(shí)，視頻放大倍率約700倍?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)千2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦；
4. 變溫樣品臺(tái)：直徑標(biāo)配50mm, 選配最大150mm。變溫范圍：6K~400K?？販胤€(wěn)定性優(yōu)千土1. 01 K;
5. 可選配接入光纖， 可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖
6. 系統(tǒng)直流漏電低于1pA;
7. 產(chǎn)品含進(jìn)口分子泵機(jī)組、 全量程真空規(guī)和智能溫控儀。
二、低溫液氮探針臺(tái)
產(chǎn)品特征如下：
1. 真空腔體：真空度優(yōu)于6X 10-4Pa。降溫后優(yōu)于6X10-5Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）；
2. 探針控制：標(biāo)配4個(gè)探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm, 調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個(gè)探針臂配備Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺(tái)底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜。
3.顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡， 光學(xué)放大倍率：0 .5X~3. 75X （使用0. 75X附加物鏡時(shí)），視頻放大倍率約700倍?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭， 帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦。
4.變溫樣品臺(tái)：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K?？販胤€(wěn)定性優(yōu)于土0. 01 K;
5. 可選配接入光纖，可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖；
6. 系統(tǒng)直流漏電低千1pA。
7.產(chǎn)品含進(jìn)口分子泵機(jī)組、 全量程真空規(guī)和智能溫控儀。
三、室溫自動(dòng)探針臺(tái)
室溫自動(dòng)探針臺(tái)是高可靠性探針臺(tái)系統(tǒng)，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體／微電子，電子，機(jī)電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機(jī)電／MEMs, 生物芯片， 航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計(jì)／制造／測試／封裝、LED、 LCD/OLED、 LD/PD、 PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。旨在預(yù)算與高測量可靠性之間尋求平衡點(diǎn)，該平臺(tái)配備高精度位移臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)X、 Y、 Z、 R等方向自動(dòng)調(diào)整，各移動(dòng)軸可實(shí)現(xiàn)土0. 005mm以下的精度定位，對(duì)陣列型測量特征可實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確的測量。經(jīng)濟(jì)實(shí)用，穩(wěn)定性強(qiáng)，可升級(jí)擴(kuò)展，操作方便是本產(chǎn)品的核心價(jià)值，在各大高校、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用廣泛。
產(chǎn)品特征如下：
1. 標(biāo)配4個(gè)探針臂， 可提供4-8個(gè)探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm,調(diào)節(jié)精度優(yōu)于5um。每個(gè)探針臂配備一根Tri ax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺(tái)底座配備額外一根Tri ax三同軸低漏電線纜；
2. 顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡， 光學(xué)放大倍率：0.5X~5.0X （使用1X附加物 鏡時(shí)），視頻放大倍率約700倍?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭， 帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦
3. 樣品座采用電機(jī)驅(qū)動(dòng)， 可實(shí)現(xiàn)快速千目鏡下尋找樣品， 調(diào)節(jié)范圍：100mm*100mm*15mm＊ 士180°。
四、液氮恒溫器
超低震動(dòng)干式液氮光學(xué)低溫恒溫器系統(tǒng)，使用氣體導(dǎo)熱隔震， 實(shí)現(xiàn)樣品臺(tái)納米級(jí)的機(jī)械穩(wěn)定性。為有效降低環(huán)境震動(dòng)影響， 產(chǎn)品設(shè)計(jì)安裝在光學(xué)隔震平臺(tái)上。超低震動(dòng)干式液氮光學(xué)低溫恒溫器系統(tǒng)使用氮?dú)饨粨Q冷卻樣品， 樣品處最低溫度可達(dá)4. 2K, 最高溫度可達(dá)373. OK。另外設(shè)計(jì)調(diào)節(jié)支架，既滿足冷頭的支撐，同時(shí)可以調(diào)節(jié)冷頭的具體高度， 以方便使用。高度定制化的服務(wù)， 更是滿足客戶多元化的需求。
