?新一代紫外波長(zhǎng)：172 nm
?光源技術(shù)：平面微腔陣列發(fā)光
?輸出強(qiáng)度: >10mW/cm2
?光刻分辨率：<0.5μm，典型可達(dá)0.35μm
?無(wú)需光刻膠，有機(jī)聚合物直接曝光
?無(wú)需超凈間，無(wú)需預(yù)熱，無(wú)需冷卻，無(wú)需復(fù)雜培訓(xùn)，幾乎"零"維護(hù)
?杰出的光束均勻度：可用光圈的3％
?壽命長(zhǎng)：3000小時(shí)曝光，曝光高達(dá)60000次(3分鐘/次), 使用可達(dá)10年
?綠色技術(shù)：無(wú)汞等有毒易燃?xì)怏w和物質(zhì)； 高電-光轉(zhuǎn)換率，節(jié)能省電；
?小巧，方便，可放入手套箱
高功率平面真空172 nm 紫外線(xiàn) —在光處理中更多應(yīng)用
采用特有的172nm波長(zhǎng)，光源技術(shù)兼具高功率，以及超乎尋常的均勻性和多功能性，高效能且緊湊的模塊化設(shè)計(jì)。這些革命性的實(shí)現(xiàn)都由π2-CYGNI系列真空紫外光處理系統(tǒng)開(kāi)始。
172納米全新光處理體系
傳統(tǒng)172nm光源的低輸出功率阻礙了該波長(zhǎng)在研究和生產(chǎn)中的廣泛應(yīng)用。π2-CYGNI 克服了這一障礙，并展示了172 nm的真正實(shí)力-全新化學(xué)驅(qū)動(dòng)，反應(yīng)方式和處理技術(shù)。
全新功率驅(qū)動(dòng)
紫外線(xiàn)弧光燈能提供高平均功率， 準(zhǔn)分子紫外線(xiàn)源提供高光子通量。π2-CYGNI 提供高平均功率和高光子通量- 無(wú)需有源或外部冷卻。 把高功率和高光子通量這種獨(dú)特組合，封裝在手掌大的盒子中，實(shí)現(xiàn)其他光源不易完成的大面積反應(yīng)和處理。
全新發(fā)光技術(shù)
每套 π2-CYGNI系統(tǒng)的核心是它超薄的(< 4mm)平面微腔光源。與傳統(tǒng)的弧光放電燈相比，這種廣域照射產(chǎn)生了卓越的均勻性，同時(shí)又消除了對(duì)復(fù)雜聚光、準(zhǔn)直和均化等光學(xué)器件的要求，使設(shè)備更加小巧，在一般實(shí)驗(yàn)室的適應(yīng)成為可能。
全新光刻工藝--無(wú)需昂貴的光刻膠、無(wú)需顯影
π2-CYGNI消除了對(duì)特定光刻膠的需求，由于172nm光具有高能量（每光子7 . 2eV），現(xiàn)在可以將有機(jī)聚合物用作光刻膠！由于有機(jī)膜質(zhì)量減少，在曝光期間產(chǎn)生圖像，因此消除了對(duì)單獨(dú)顯影步驟的需要，也避免光刻膠經(jīng)顯影后不易剝離(liftofff)的難題。
