172nm光刻及相關(guān)半導(dǎo)體加工工藝(Lithography Related)
主要特性
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臺式掃描電鏡SEM
秉承操作便捷、快速成像、性能穩(wěn)定的設(shè)計(jì)目標(biāo)，鎢燈絲臺式掃描電子顯微鏡ZEM15。
ZEM15臺式掃描電鏡速度快，信號采集帶寬10M，可以在視頻模式下流暢實(shí)時的顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成操作，不需對中光闌等復(fù)雜步驟，聚焦消像散后可直接拍圖。
主機(jī)集成高壓及控制系統(tǒng)，體積小巧，便于移動，可出差攜帶，安裝無需特殊環(huán)境，只需找一張桌子，供電就可工作。
秉承操作便捷、快速成像、性能穩(wěn)定的設(shè)計(jì)目標(biāo)，鎢燈絲臺式掃描電子顯微鏡ZEM15。
ZEM15臺式掃描電鏡速度快，信號采集帶寬10M，可以在視頻模式下流暢實(shí)時的顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成操作，不需對中光闌等復(fù)雜步驟，聚焦消像散后可直接拍圖。
主機(jī)集成高壓及控制系統(tǒng)，體積小巧，便于移動，可出差攜帶，安裝無需特殊環(huán)境，只需找一張桌子，供電就可工作。
ZEM15臺式掃描電鏡主要參數(shù)指標(biāo) | |
放大倍數(shù) | 60000x 150000x |
加速電壓 | 500V - 15kV |
電子源 | 預(yù)對中鎢燈絲 |
聚光鏡 | 兩級電磁變焦聚光鏡 |
樣品臺 | X-Y兩軸自動樣品臺 |
樣品臺移動范圍 | 30mm×30mm |
標(biāo)準(zhǔn)配置 | 背散射電子探測器 |
尺寸 | 主機(jī)283×553×505 |
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